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No. Title Name Model Institution Location Link
185 레이저분광공초점현미경 Confocal Microscope LSM800 암연구소 연건 암연구소 중앙연구지원실
184 레이저분광공초점현미경 Confocal Microscope STELLARIS 5 암연구소 연건 암연구소 중앙연구지원실
183 유세포 분석기 Flow Cytometer FACS Canto II - 6 color 암연구소 연건 암연구소 중앙연구지원실
182 유세포 분석기 Flow Cytometer FACS Canto II (HTS) - 8 color 암연구소 연건 암연구소 중앙연구지원실
181 슈퍼잉크젯프린터 Super-Inkjet Printer SIJ-S050 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C5-2)
180 마스크리스 리소그래피 시스템 Maskless Lithography System Maskless Pattern System 2 DL-1000HP C2R10/SNU-2 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-4)
179 CMOS 유도결합형 플라즈마를 이용한 절연막 식각기 CMOS ICP dry Etcher-SiO2*SiN) CMOS ICP SIO/SIN ETCHER_Plasma therm APEX SLR ICP 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-5)
178 범용 금속 원자층 증착 장비, 로드락이 합쳐진 클러스터장비 (ALD2챔버+Buffer 챔버 Load lock)ALD Cluster SYSTEM MEMS ALD2 ALD Cluster System 2CH PLASMA ENHANCED ALD SYSTEM 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C4-1)
177 MEMS/양자정보처리유도 결합형 플라즈마를 이용한 절연막 식각기 MEMS ICP DIELECTRIC Etcher NEOS-MAXIS 200L 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-1)
176 전자빔 증발 진공증착기 E-gun Evaporator SRN-200 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-1)
175 유도 결합형 플라즈마를 이용한 다결정 규소식각기 CMOS ICP etcher II poly Si & c-Si NeoGEN-MAXIS200L 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-3)
174 마스크리스패터닝시스템 Maskless Patterning System DL-1000 HP 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-1)
173 원자층증착기 ALD(CMOS ALD II) CNI CN1 3chamber cluster 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-5)
172 플라즈마화학기상증착기 PE-CVD Oxford Plasma pro 100 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-5)
171 플라즈마강화원자층증착기 ALD Cluster System MEMS ALD PE ALD System(MEMS) 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C5-1)

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