수차보정 주사투과전자현미경
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
수차보정 주사투과전자현미경
ename_en:
Cs-STEM
emodel:
JEM-ARM200F
institution:
기초과학공동기기원
location:
관악 기초과학공동기기원
(139동 101-1호)
epname:
이인성
tel:
02-880-8055
email:
einsung@snu.ac.kr
link:
https://irf.snu.ac.kr/possessed_device/possessed_device.php?sk=stem
keyword:
원리 및 기능
Cs-STEM은 Condenser lens의 구면수차보정 (Spherical aberration corrector) 기능을 가진 냉음극 전계방사형(Cold FEG) 원자분해능 주사투과전자현미경 (Scanning transmission electron microscope : STEM) 으로 EDS (Energy-dispersive x-ray spectroscopy) 와 EELS (Electron energy-loss spectroscopy) 가 장착되어 미세영역의 결정구조, 원자배열, 화학조성 그리고 전자결합상태 등을 분석할 수 있다.
기기활용
(1) 각종물질 (Hard, Soft & Hybrid materials) 의 미세영역에서 형상, 형태관찰
(2) 내부구조 (결함,전위), 결정구조, 원자배열
(3) 화학조성, 원소분석 (정량, 정성, Mapping), 전자결합상태분석
사양
1. Cs corrected STEM (Probe Corrector)
2. Specifications
1) HT : 60, 80, 120, 200 kV
2) Magnification: 50 to 2,000,000 X (TEM), 200 to 1,500,000 X (STEM)
3) Resolution
- STEM mode: HAADF 0.08nm/ BF 0.136nm
- TEM mode: Point 0.23nm
4) Sample tilting
- X / Y: ±35° / ±30°
3. Analysis functions
1) CCD Camera :OneView camera (25 fps at full 4k x 4k resolution)
2) EDS : SDD Type (Active area 100mm²/ Solid angle 0.9 sr)
3) EELS : Model 965 GIF Quantum ER
code:
irf_001