고분해능 X-선 회절분석기
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
고분해능 X-선 회절분석기
ename_en:
HR-XRD
emodel:
SmartLab
institution:
기초과학공동기기원
location:
관악 기초과학공동기기원
(139-1동 254호)
epname:
이미송
tel:
02-880-6498
email:
misong@snu.ac.kr
link:
https://irf.snu.ac.kr/possessed_device/possessed_device.php?sk=hrxrd
keyword:
1. 원리 및 기능
X선 회절현상은 X-선이 원자의 전자들에 의해 산란되는 과정으로 설명되는데 즉 Bragg법칙이나 Laue방정식을 만족하는 어떤 특정한 기하학적 조건에서 산란이 될 때만 회절빔이 생기게 되며 이러한 회절현상의 분석을 통하여 물질의 단위구조크기, 구조, 방향 등의 정보를 알아낼 수 있다. 본 장비는 주로 박막 시료에 대한 결정구조의 정밀분석, 에피층의 구조분석 특성, 반사측정을 통한 단/다층 박막의 밀도, 거칠기 및 두께 분석 등에 활용된다.
2. 기기활용
- 격자상수 변화에 대한 분포 (ω/2theta scan)
- 결정의 배향성, 결정성 (ω scan)
- X-선 반사를 이용한 박막의 두께, 거칠기 및 밀도 측정
3. 사양
- X-ray generator : 9kW (Cu target)
- Theta-Theta goniometer with horizontal sample mounting
- CBO Optics
- Ge(220) 2-bounce monochrometer
- Ge(220) 4-bounce monochrometer
- Detector : HyPix-3000
- Application Software : PDXL
- ICDD Database PDF-2
code:
irf_007