전계방사주사전자현미경
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
전계방사주사전자현미경
ename_en:
Field Emission Scanning Electron Microsope
emodel:
JSM-7800F Prime
institution:
기초과학공동기기원
location:
관악 기초과학공동기기원
(139동 130호)
epname:
김선영
tel:
02-880-8036
email:
sykim1202@snu.ac.kr
link:
https://irf.snu.ac.kr/possessed_device/possessed_device.php?idx=55&teamid=5&newitem=&sk=#mainContent
keyword:
원리 및 기능
JSM-7800F Prime은 Super Hybrid lens 및 In-lens Schottky plus field emission electron gun이 장착되어 시료의 Damage를 줄일 수 있는 약 1KeV 저가속전압 조건에서도 높은 Resolution을 구현하는 장비로 미세 영역의 영상, 화학성분 분석이 가능하다. JSM-7800F Prime은 LED, UED, USD, BED등 4개의 detector를 이용하여 다양한 이미지를 구현할 수 있다. 또한 EDS가 부착되어 있어 시편의 성분과 표면 성분에 관한 연구를 수행할 수 있다.
기기활용
(1) Hard, Soft, Hybrid materials 등 각종 물질의 미세 영역 표면 관찰
(2) Electron channeling contrast
(3) 화학조성 및 원소분석 (정량, 정성, mapping)
사양
1) Resolution
- 15 kV : 0.7 nm
- 1 kV : 0.7 nm
- 5 kV, 5nA : 3.0 nm
2) Probe current
- 30 kV : 500nA
- 2 kV : 20 nA
3) Magnification : x25 to x1,000,000
4) Accel.voltage : 0.01kV ~ 30kV
5) Electron gun : In-lens Schottky plus field emission electron gun
6) Objective lens : Super hybrid lens
7) Specimen stage
- X axis : 70 mm
- Y axis : 50 mm
- Z axis : 2 mm to 41mm
- Tilt : -5° to +70°
code:
irf_018