집속 이온빔 초저온 시편 생산장비
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
집속 이온빔 초저온 시편 생산장비
ename_en:
Cryo-FIB: Focused Ion Beam
emodel:
Aquilos 2
institution:
유전공학연구소
location:
유전공학연구소 B108호
epname:
노태완
tel:
02-880-5491
email:
noh.taewan@snu.ac.kr
link:
https://imbg.snu.ac.kr/%ea%b3%b5%eb%8f%99%ec%9e%a5%eb%b9%84-%ec%9d%b4%ec%9a%a9-%ec%95%88%eb%82%b4/
keyword:
○ 집속이온빔 초저온 시편 제조 장치(Cryo-FIB-SEM)의 용도
● 이온빔을 활용하여 초저온 상태(Cryogenic)에서 시료의 절편을 생산하는 장비임
● 해당 장비를 통해 Cryo-EM/세포토모그램(ET)/결정 분석법을 위한 생물학/소재 박편을 생산하고 천연상태에 가까운 형태로 고해상도 분석 지원
● Cryo-ET는 생체시료의 다각도 이미징을 통해 3D 구조를 획득하는 기술로, 세포 및 조직 고해상도 구조 규명에 이용됨
가. 장비 구성 및 사양
(가) Cryo-FIB: focused ion beam (Core instrument)
● Ion source : 1300 hours
● 전압: 500V - 30kV
● Beam current: 15단계에서 1.5pA- 65nA
● NICol Electron Column
● High-throughput Ion Column
● 110 x 110 mm Eucentric Stage
● CCD IR Camera
● In-chamber Nav-Cam
(나) Cryo-SEM:Scanning electron microscopy (Core instrument)
● 가속 전압 범위: 200V - 30kV
● 빔전류 범위:1.5pA - 400nA
● 상온 분해능: 30kV에서 1.6nm, 2kV에서 2.6nm
● 초저온 분해능: 30kV에서 7.0nm, 2kV에서 7.0nm
● In-lens Detectors: Lower (T1) and Upper (T2)
● SE Detector (ET-SED)
● Oil-free Pumping System
● Integrated Current Measurement
● Cryo Kit, incl. Cryo Stage, Cryo Transfer System, Cryo Loading Station, Platinum Deposition GIS, Sputter Coater
● Acoustic Enclosure of Heat Exchanger Pre-Vacuum Pump
(다) Cryo- integrated fluorescence light microscope (Core instrument)
● Widefield optical system
● LED illumination source
● Reflection and fluorescence imaging
● Objective: Piezo-driven, 20×, 0.7 N.A., WD 600 μm. minimum FOV ~350 μm
● A range of dedicated iFLM sample shuttles
● CMOS Camera
(라) 기타 사양 (조직박편 추출 기능 및 소프트웨어)
● EasyLift NanoManipulator for Cryo-lift-out
● Dedicated easy lift variant with -165C at the needle tip and <200nm/min drift after insertion.
● Maps 3 for SEM with Correlative Workflow
● AutoScript DB Academic/ AutoSlice & View/ AutoTEM Cryo
code:
imbg_2021