적외선 엘립소미터
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
적외선 엘립소미터
ename_en:
Ellipsometer (IR)
emodel:
IR-VASE MARKⅡ
institution:
응용물리연구소
location:
관악 자연과학관2
(19동 402호)
epname:
송인경
tel:
02-6415-7783
email:
iksong@snu.ac.kr
link:
https://iap.snu.ac.kr/equipment/list?cateidx=19
keyword:
- 입사각을 32°에서 90°까지 미세하게 자동조절 가능
- 데이터 분석을 위한 소프트웨어
- 회전위상지연자(rotating compensator)형 엘립소미터
- 333~5900 cm-1 의 파장범위
- 측정 데이터 유형 : Generallized Ellipsometry, Depolarization, Mueller matrix 등
- 파장 해상도 : 1 cm-1
- 입사각 : 32~90°
- 데이터 재현성 : 0.06° 이하, 0.013° 이하
- 데이터 정확성 : 0.8° 이하, 0.14° 이하
- FTIR spectrometer의 광소스 : silicon carbide glow bar
- Cryostat 사용 온도 범위 : 4.2~800K (thermocouple and silicon diode sensors)
code:
iap19_ellipsometer ir