반응성 이온 식각기
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
반응성 이온 식각기
ename_en:
reactive ion etcher (RIE)
emodel:
RIE-10NR
institution:
응용물리연구소
location:
관악 자연과학관 4
(22동 118호)
epname:
강슬지
tel:
882-8515
email:
selji@snu.ac.kr
link:
iap.snu.ac.kr/equipment/list?mode=view&equipidx=7
keyword:
RF 주파수의 전자기장을 걸어서 화학적으로 반응성이 높은 플라즈마를 발생시켜서 시료를 선택적으로 건식 식각(dry etching) 가능
- 사용 가능 RF Power range : 30W ~ 270W
- Gas: CF4, O2, Ar, SF6
code:
iap22_rie