집속이온빔
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
집속이온빔
ename_en:
Focused ion beam (FIB)
emodel:
Helios5 UC
institution:
응용물리연구소
location:
관악 자연과학관 4
(22동 118호)
epname:
강슬지
tel:
882-8515
email:
selji@snu.ac.kr
link:
https://iap.snu.ac.kr/
keyword:
*장비 설치 중 3월부터 공동활용 예정
집속이온빔시스템은 가속화 된 전자빔을 시료 표면에 주사하였을 때 발생되는 2차 전자와 후방산란전자를 영상화하여 미세영역을 관찰하는 전계방사형 주사전자현미경 기능을 기본으로 장착하고 시료 표면엔 Ion Beam(Ga Ion)을 주사하여 미세영역을 etching, milling 및 cross section에 대한 단면분석과 투과전자현미경 분석을 위한 lamella 제작이 가능
- SEM Resolution: 0.6 nm at 30 keV or less
- Ion beam Resolution: 4 nm at 30 keV or better
- GIS: Pt, C, W
code:
iap22_fib