반도체검사기
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
반도체검사기
ename_en:
CMOS ICP METAL ETCHER
emodel:
APEX SLR ICP MK I
institution:
반도체공동연구소
location:
반도체공동연구소
(104동 1층 Fab C1-4)
epname:
박태영
tel:
880-8825
email:
alexpark@snu.ac.kr
link:
https://isrc.snu.ac.kr/new/contents/menu4/equip_data.php?seq=90%22
keyword:
장비 설명
- Metal etcher (AI, Ti, TiN, etc)
공정 범위
- Over etch 10~20% 이상 권장.
- 반도체공동연구소에서 규정한 CMOS Metal 물질만 식각 가능.
- 기본공정조건 외 AI etch 후 별도로 Ashing 공정 가능하나 corrosion 발생 가능성 있음.
code:
ICP03