마스크리스패터닝시스템
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
마스크리스패터닝시스템
ename_en:
Maskless Patterning System
emodel:
DL-1000 HP
institution:
반도체공동연구소
location:
반도체공동연구소
(104동 1층 Fab C2-1)
epname:
박유경
tel:
880-9578
email:
jjwkkwmi@snu.ac.kr
link:
https://isrc.snu.ac.kr/new/contents/menu4/equip_data.php?seq=102%22
keyword:
장비 설명
Mask 없이도 GDS File 만으로 패턴을 구현할수 있는 장비이며, Auto/Manual로 Alignment를 진행 할 수 있음. Laser diode의 10W의 높은 출력으로 빠른 패턴 가능.
code:
MLS01