구면수차보정투과전자현미경

ename_ko: 
구면수차보정투과전자현미경
ename_en: 
Cs corrected monochromated TEM/STEM
emodel: 
Themis Z
institution: 
신소재공동연구소
location: 
관악 신소재공동연구소 (37동 104호)
epname: 
문영신
tel: 
02-880-8022
email: 
mys1982@snu.ac.kr
keyword: 
원리 및 기능 구면수차보정투과전자현미경은 Condenser lens의 구면수차보정 (Spherical aberration corrector) 기능을 가진 주사투과전자현미경 (Scanning transmission electron microscope : STEM) 으로 EDS (Energy-dispersive x-ray spectroscopy) 와 EELS (Electron energy-loss spectroscopy) 가 장착되어 미세영역의 결정구조, 원자배열, 화학조성 그리고 전자결합상태 등을 분석할 수 있다. 기기활용 (1) 각종물질의 미세영역에서 형상, 형태관찰 (2) 내부구조 (결함,전위), 결정구조, 원자배열 (3) 화학조성, 원소분석 (정량, 정성, Mapping), 전자결합상태분석 (4) EMPAD, Tomography 사양 Resolution - Image corrector : Information Limit 70pm, STEM resolution 136pm - Probe corrector : Information Limit 100pm, STEM resolution 60pm Accelecting voltage : 60 -300kV (60, 80, 200, 300) Monochromator energy resolution - 300kV : 0.17eV, 200kV : 0.14eV, 80kV : 0.17eV, 60kV : 0.16eV
code: 
riam_TEM07

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