고분해능 엑스선회절장치
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
고분해능 엑스선회절장치
ename_en:
HR-XRD
emodel:
Xpert pro(MRD)
institution:
신소재공동연구소
location:
관악 신소재공동연구소
(131동 112호)
epname:
이태우
tel:
02-880-5576
email:
rocaapc@snu.ac.kr
link:
https://riam.snu.ac.kr/sub.php?code=ZESrM6&dong=&mode=view&serial=18
keyword:
원리 및 기능
Xpert pro XRD는 4 gonio aixs에 대해 회전이 가능한 high resolution XRD이다. 박막의 phase분석 뿐 아니라, residual stress, texture, XRR을 이용한 두께 및 밀도, roughness측정, 박막의 epitaxy 측정(RSM)이 가능한 XRD이다.
기기활용
(1) XRR(Xray reflectivity)
(2) Texture
(3) Residual stress
(4) Rocking curve and RSM
사양
Continuous output power : Max. 3000W
High-voltage : 10 to 60Kv
maximum settings : 45 KV, 40 mA
Targets : Cu std.
Be window transmission for Cu Ka radiation : 94%
Focus : Two focus(Point and Line)
code:
riam_XRD02