주사전자현미경
Submitted by rnd_admin on Tue, 10/22/2024 - 00:10
ename_ko:
주사전자현미경
ename_en:
FE-SEM
emodel:
SU-70
institution:
신소재공동연구소
location:
관악 신소재공동연구소
(37동 113호)
epname:
이혜은
tel:
02-880-7033
email:
hye_eun@snu.ac.kr
link:
https://riam.snu.ac.kr/sub.php?code=ZESrM6&dong=&mode=view&serial=39
keyword:
원리 및 기능
FE-SEM는 가속된 전자빔을 시료에 조사할 때 발생되어 나오는 2차 전자, 후방산란 전자, 엑스선을 이용하여 시편 표면의 미세한 요철상, 조성상 및 성분 분석을 할 수 있다.
기기활용
(1) 각종물질 (Hard, Soft & Hybrid materials) 의 미세영역에서 형상, 형태관찰
(2) 결정구조, 원자배열
(3) 화학조성, 원소분석 (정량, 정성, Mapping),
사양
1. Resolution
1) 15kV-1.0nm
2) 1kV-2.5nm
2. Detector
1) Secondary electron detector
2) Backscattered electron detector
3) Energy dispersive X-ray detector
4) Cathodoluminescence detector
code:
riam_SEM03