연구장비 공동활용
전체 | 516개
상세 검색
| No. | 장비명(국문) | 장비명(영문) | 모델명 | 보유기관 | 장비위치 | 예약화면 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 81 | 식각기 | OXFORD ICP-Etcher | PLASMA PRO 100 COBRA | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-5) | 바로가기 |
| 80 | 플라즈마화학기상증착기 | PE-CVD | Oxford Plasma pro 100 | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-5) | 바로가기 |
| 79 | 원자층박막증착기 | Nano ALD System CMOS ALD I | NANO AL-CVD SYSTEM | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-7) | 바로가기 |
| 78 | 플라즈마강화원자층증착기 | ALD Cluster System MEMS ALD | PE ALD System(MEMS) | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C5-1) | 바로가기 |
| 77 | 진공증착기 | Sputtring system SRN-120 | SRN-120 | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C3) | 바로가기 |
| 76 | 반도체검사기 | CMOS ICP METAL ETCHER | APEX SLR ICP MK I | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-4) | 바로가기 |
| 75 | 진공증착기 | HDPCVD II | Plasma-Therm, Apex SLR HDP-CVD | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-4) | 바로가기 |
| 74 | 고성능 비트에러율테스터 | High-Performance Bit-Error-Rate Tester | MP1800A 외 | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104-1동 207호 측정장비실) | 바로가기 |
| 73 | 슈퍼잉크젯프린터 | Super-Inkjet Printer | SIJ-S050 | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C5-2) | 바로가기 |
| 72 | 원자층증착기 | ALD(CMOS ALD II) CNI | CN1 3chamber cluster | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-5) | 바로가기 |
| 71 | 마스크리스패터닝시스템 | Maskless Patterning System | DL-1000 HP | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-1) | 바로가기 |
| 70 | 유도 결합형 플라즈마를 이용한 다결정 규소식각기 | CMOS ICP etcher II poly Si & c-Si | NeoGEN-MAXIS200L | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-3) | 바로가기 |
| 69 | 전자빔 증발 진공증착기 | E-gun Evaporator | SRN-200 | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-1) | 바로가기 |
| 68 | MEMS/양자정보처리유도 결합형 플라즈마를 이용한 절연막 식각기 | MEMS ICP DIELECTRIC Etcher | NEOS-MAXIS 200L | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-1) | 바로가기 |
| 67 | 범용 금속 원자층 증착 장비, 로드락이 합쳐진 클러스터장비 (ALD2챔버+Buffer 챔버 Load lock)ALD Cluster SYSTEM | MEMS ALD2 ALD Cluster System | 2CH PLASMA ENHANCED ALD SYSTEM | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C4-1) | 바로가기 |
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