연구장비 공동활용
전체 | 280개
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No. | 장비명(국문) | 장비명(영문) | 모델명 | 보유기관 | 장비위치 | 예약화면 |
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70 | 적외선 엘립소미터 | Ellipsometer (IR) | IR-VASE MARKⅡ | 응용물리연구소 | 관악 자연과학관2 (19동 402호) | 바로가기 |
69 | 푸리에 변환 적외선 분광계 | FT-IR Spectrometer | Vertex 80v | 응용물리연구소 | 관악 자연과학관2 (19동 402호) | 바로가기 |
68 | 헬륨 액화기 | Helium Liquefier | LHeP55 | 응용물리연구소 | 관악 자연과학관2 (19동 B104호) | 바로가기 |
67 | 유도결합형 플라즈마 화학기상증착장치 | PECVD | JPEC-2000 | 응용물리연구소 | 관악 자연과학관2 (19동 419호) | 바로가기 |
66 | 플로팅 존 용융로 | Optical Floating Zone Furnace | FZ-T-10000-H-VII-VPO-PC | 응용물리연구소 | 관악 자연과학관2 (19동 410호) | 바로가기 |
65 | 저온 단결정 X선 회절기 | Single Crystal XRD | D8 Quest | 응용물리연구소 | 관악 자연과학관2 (19동 407호) | 바로가기 |
64 | 극저온 저항 측정 장비 | Crygenic Probe Station | CPX-VF | 응용물리연구소 | 관악 자연과학관2 (19동 419호) | 바로가기 |
63 | 반응성 이온 식각기 | reactive ion etcher (RIE) | RIE-10NR | 응용물리연구소 | 관악 자연과학관 4 (22동 118호) | 바로가기 |
62 | 집속이온빔 | Focused ion beam (FIB) | Helios5 UC | 응용물리연구소 | 관악 자연과학관 4 (22동 118호) | 바로가기 |
61 | 식각기 | OXFORD ICP-Etcher | PLASMA PRO 100 COBRA | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-5) | 바로가기 |
60 | 플라즈마화학기상증착기 | PE-CVD | Oxford Plasma pro 100 | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-5) | 바로가기 |
59 | 원자층박막증착기 | Nano ALD System CMOS ALD I | NANO AL-CVD SYSTEM | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-7) | 바로가기 |
58 | 플라즈마강화원자층증착기 | ALD Cluster System MEMS ALD | PE ALD System(MEMS) | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C5-1) | 바로가기 |
57 | 진공증착기 | Sputtring system SRN-120 | SRN-120 | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C3) | 바로가기 |
56 | 반도체검사기 | CMOS ICP METAL ETCHER | APEX SLR ICP MK I | 반도체공동연구소 | 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-4) | 바로가기 |