연구장비 공동활용

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No. 장비명(국문) 장비명(영문) 모델명 보유기관 장비위치 예약화면
70 적외선 엘립소미터 Ellipsometer (IR) IR-VASE MARKⅡ 응용물리연구소 관악 자연과학관2 (19동 402호)
69 푸리에 변환 적외선 분광계 FT-IR Spectrometer Vertex 80v 응용물리연구소 관악 자연과학관2 (19동 402호)
68 헬륨 액화기 Helium Liquefier LHeP55 응용물리연구소 관악 자연과학관2 (19동 B104호)
67 유도결합형 플라즈마 화학기상증착장치 PECVD JPEC-2000 응용물리연구소 관악 자연과학관2 (19동 419호)
66 플로팅 존 용융로 Optical Floating Zone Furnace FZ-T-10000-H-VII-VPO-PC 응용물리연구소 관악 자연과학관2 (19동 410호)
65 저온 단결정 X선 회절기 Single Crystal XRD D8 Quest 응용물리연구소 관악 자연과학관2 (19동 407호)
64 극저온 저항 측정 장비 Crygenic Probe Station CPX-VF 응용물리연구소 관악 자연과학관2 (19동 419호)
63 반응성 이온 식각기 reactive ion etcher (RIE) RIE-10NR 응용물리연구소 관악 자연과학관 4 (22동 118호)
62 집속이온빔 Focused ion beam (FIB) Helios5 UC 응용물리연구소 관악 자연과학관 4 (22동 118호)
61 식각기 OXFORD ICP-Etcher PLASMA PRO 100 COBRA 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-5)
60 플라즈마화학기상증착기 PE-CVD Oxford Plasma pro 100 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C2-5)
59 원자층박막증착기 Nano ALD System CMOS ALD I NANO AL-CVD SYSTEM 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-7)
58 플라즈마강화원자층증착기 ALD Cluster System MEMS ALD PE ALD System(MEMS) 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C5-1)
57 진공증착기 Sputtring system SRN-120 SRN-120 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C3)
56 반도체검사기 CMOS ICP METAL ETCHER APEX SLR ICP MK I 반도체공동연구소 반도체공동연구소 (104동 1층 Fab C1-4)

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